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近日，江蘇省生產(chǎn)力促進(jìn)中心正式發(fā)布2023年江蘇獨(dú)角獸企業(yè)暨高新區(qū)瞪羚企業(yè)名單，天芯微憑借技術(shù)產(chǎn)品的突破和創(chuàng)新，以及過(guò)去一年快速推動(dòng)產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用的成績(jī)，入選省“潛在獨(dú)角獸企業(yè)”榜單。

江蘇潛在獨(dú)角獸企業(yè)名單（部分）

自成立以來(lái)，天芯微立足于技術(shù)自主和正向研發(fā)，以半導(dǎo)體制造鏈中單體價(jià)值量較高的外延工藝裝備為切入點(diǎn)，組建資深研發(fā)團(tuán)隊(duì)。通過(guò)2年時(shí)間的潛心研制，成功推出首款產(chǎn)品Epi RP 300 Compass HP減壓外延設(shè)備，其具備先進(jìn)的紅外加熱控制技術(shù)和加熱模塊設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)溫度的快速升降和溫度場(chǎng)的精確控制，使系統(tǒng)具備優(yōu)異的工藝重復(fù)性和設(shè)備穩(wěn)定性，從而獲得良好的厚度均勻性、電阻率均勻性，零滑移線和低缺陷密度的外延層生長(zhǎng)。Epi RP 300 Compass HP主要應(yīng)用于邏輯芯片代工、功率器件等領(lǐng)域，可滿足工藝均勻性控制、低晶體缺陷、低摻雜和顆粒密度可控性強(qiáng)的要求，其各項(xiàng)產(chǎn)品性能都達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，部分核心性能已超過(guò)國(guó)際同類產(chǎn)品。

另一方面，天芯微也在積極拓展自主半導(dǎo)體裝備的產(chǎn)業(yè)化推廣和應(yīng)用。目前，天芯微已經(jīng)與數(shù)家國(guó)內(nèi)知名晶圓代工廠形成合作關(guān)系。2022年8月，天芯微首臺(tái)先進(jìn)制程硅基外延減壓設(shè)備Epi RP 300 Compass HP成功首發(fā)，進(jìn)入國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的晶圓代工廠，這標(biāo)志著公司正式從產(chǎn)品化到產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用轉(zhuǎn)身。2023年10月，天芯微與國(guó)內(nèi)第三大晶圓代工企業(yè)晶合集成達(dá)成戰(zhàn)略合作關(guān)系，進(jìn)一步推動(dòng)外延等高端前道設(shè)備及工藝的合作。

本次入選江蘇省潛在獨(dú)角獸企業(yè)名單，是對(duì)天芯微自主創(chuàng)新能力以及市場(chǎng)拓展實(shí)力的認(rèn)可。未來(lái)，公司將會(huì)持續(xù)加大投入對(duì)自主可控半導(dǎo)體高端前道裝備的研發(fā)與推廣，為客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品與服務(wù)。